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J-GLOBAL ID：200903091645537034

配線パターン検査方法及びその装置

Inventor： 布施 貴史 ,  西山 陽二 ,  高橋 文之 ,  大嶋 美隆 ,  塚原 博之
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999091705
Publication number (International publication number)：2000283929
Application date： Mar. 31, 1999
Publication date： Oct. 13, 2000
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、画像のノイズや歪み、位置合わせ誤差等により生ずる欠陥検出を排除することにより、高精度な欠陥検出を行うことを目的とする。【解決手段】配線パターン検査方法は、良品の配線方向に基づいて分割された被検査領域毎に異なる欠陥検出基準を設定し、被検査対象の画像と良品の画像との差分画像から欠陥候補を検出し、欠陥検出基準に基づいて欠陥候補から欠陥検出を行う。

Claim (excerpt)：

被検査対象の画像と、該被検査対象と同型の良品の画像との差分画像から欠陥候補を検出し、該被検査対象と同型の良品の画像の配線方向に基づいて分割された被検査領域と、該被検査領域毎に設定された該配線方向に基づく欠陥検出基準とにより、該欠陥候補から欠陥検出を行うことを特徴とする配線パターン検査方法。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66

FI (3)：

G01N 21/88 645 B ,  G01B 11/30 A ,  H01L 21/66 S

F-Term (39)：

2F065AA12 ,  2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065BB28 ,  2F065CC01 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065FF42 ,  2F065HH02 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065LL12 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ39 ,  2G051AA51 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA25 ,  2G051EB02 ,  2G051EB09 ,  2G051ED04 ,  2G051ED14 ,  2G051ED15 ,  4M106AA02 ,  4M106CA40 ,  4M106DB04 ,  4M106DB21 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ13 ,  4M106DJ21