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J-GLOBAL ID：200903091647627570

イオンビームによる元素分析装置

Inventor： 石井 慶造 ,  松本 教之
Applicant, Patent owner： 株式会社トーキン
Agent (1)： 後藤 洋介 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994208889
Publication number (International publication number)：1996075684
Application date： Sep. 01, 1994
Publication date： Mar. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】 大気中でしかも試料に何の調整も施さないで,更に試料を固定しないで水平面に置いて,試料にイオンビームを照射し,試料に含まれる元素の定量分析を行うことができる垂直イオンビームによる大気中元素分析装置を提供すること。【構成】 加速器Aから発射されたイオンビームBを試料Sに衝突させて元素分析する装置において,加速器AはイオンビームBを水平に発射する。発射されたイオンビームBは,電磁石1によって鉛直線方向に偏向される。試料Sは,前記偏向された前記イオンビームBが衝突する位置に水平に保持されている。試料SからのX線は,X線検出器により検出され元素分析がなされる。

Claim (excerpt)：

加速器から発射されたイオンビームを試料に衝突させて元素分析する装置において,前記イオンビームの方向を鉛直線方向に偏向させる電磁石を備え,前記イオンビームは,前記加速器から水平に発射され,前記電磁石により偏向されるとともに,前記試料は前記偏向された前記イオンビームが衝突する位置に水平に保持されていることを特徴とするイオンビームによる元素分析装置。