微粒子導入装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小沢信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992099344
Publication number (International publication number)：1993172749
Application date： Apr. 20, 1992
Publication date： Jul. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】システムの小型化等を図った微粒子導入装置を提供する。【構成】マイクロ波誘導プラズマ利用元素分析計のプラズマ発生部に試料を供給する微粒子導入装置において、ティスチャージ管(6)を介して試料を供給するディスパ-サユニット(2)と、前記ティスチャージ管が嵌合してこのティスチャージ管内にマイクロ波でプラズマを誘起するキャビティ(8)を有してマイクロ波誘導プラズスマに供給されて解離した前記試料中の元素を分析するアナライザ(AN)とを一体的に構成したことを特徴とする微粒子導入装置。

Claim (excerpt)：

マイクロ波誘導プラズマ利用元素分析計のプラズマ発生部に試料を供給する微粒子導入装置において、ティスチャージ管(6)を介して試料を供給するディスパ-サユニット(2)と、前記ティスチャージ管が嵌合してこのティスチャージ管内にマイクロ波でプラズマを誘起するキャビティ(8)を有してマイクロ波誘導プラズスマに供給されて解離した前記試料中の元素を分析するアナライザ(AN)とを一体的に構成したことを特徴とする微粒子導入装置。

IPC (2)：

G01N 21/73 , G01N 1/00 101

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-005555
特開平4-005555
特開平2-309599

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