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J-GLOBAL ID：200903091663168887

ダイソータテープ

Inventor： 斉藤 哲也 ,  澤本 進一
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992149743
Publication number (International publication number)：1993343517
Application date： Jun. 10, 1992
Publication date： Dec. 24, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ウェハを貼着する側のフィルムに切り抜き部(開口)を設けることで、ダイシング後の選別に際し、突き上げ針に起因してペレットに疵やクラックが付くのを防止する。【構成】 ペレット単位にダイシングされるウェハを固定するための粘着剤がフィルム2上に塗布されたダイソータテープ8であって、フィルム2の突き上げ針が押し上げられる位置に対向する面に切り抜き部11(開口)を設け、突き上げ針を押し上げるために必要な力を少なくできるようにする。

Claim (excerpt)：

ペレット単位にダイシングされるウェハを固定するための粘着剤がフィルム上に塗布されたダイソータテープであって、前記ウェハの貼着側のフィルムのペレットの突き上げ治具が挿入される部位に切り抜き部を設けたことを特徴とするダイソータテープ。