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J-GLOBAL ID:200903091678474097
水素ガス検知膜及び水素ガスセンサ
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004149991
Publication number (International publication number):2005331364
Application date: May. 20, 2004
Publication date: Dec. 02, 2005
Summary:
【課題】高感度かつ高速応答性を有する水素ガス検知膜を用いた水素ガスセンサ【解決手段】絶縁基板上に設けられた一対の電極20上に、水素ガスを解離して発生されるプロトンが注入されて還元され或いは前記プロトンが脱離されて酸化されることにより電気抵抗が変化する所定の膜厚の検知膜10を有する水素ガスセンサであって、前記検知膜10は、酸化タングステンを主成分とする結晶微粒子の集合体で構成され、前記結晶微粒子酸化タングステン1の表面に酸化状態の触媒金属を含有する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
水素ガスを解離して生成されるプロトンが注入されて還元され或いは前記プロトンが脱離されて酸化されることにより電気抵抗が変化する水素ガス検知膜であって、
前記検知膜は、酸化タングステンを主成分とする結晶微粒子の集合体で構成され、前記結晶微粒子酸化タングステンの表面に酸化状態の触媒金属を含有することを特徴とする水素ガス検知膜。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (24):
2G046AA05
, 2G046BA01
, 2G046BA09
, 2G046EA08
, 2G046FB00
, 2G046FB02
, 2G046FE09
, 2G046FE10
, 2G046FE11
, 2G046FE12
, 2G046FE16
, 2G046FE21
, 2G046FE22
, 2G046FE24
, 2G046FE25
, 2G046FE26
, 2G046FE29
, 2G046FE31
, 2G046FE33
, 2G046FE34
, 2G046FE35
, 2G046FE44
, 2G046FE45
, 2G046FE46
Patent cited by the Patent: