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J-GLOBAL ID：200903091680474851

ポジ型感光性組成物

Inventor： 近藤 俊一 ,  土屋 光正 ,  石毛 貞夫 ,  杉山 武勝
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991325859
Publication number (International publication number)：1993158230
Application date： Dec. 10, 1991
Publication date： Jun. 25, 1993
Summary：

【要約】【構成】 (1)下記一般式(I)で示されるジアゾニウム塩とアルカリ可溶性ポリマーとを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 は炭素数3〜18のアルキル基又は置換アルキル基を示し、R2 は水素原子、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール基、アルコキシ基、置換アルコキシ基、フェノキシ基、置換フェノキシ基又はハロゲン原子を示す。Aは有機基をX- は対アニオンを示す。nは1〜4の整数、mは1〜3の整数を示し、n+m=4である。【効果】 高い感光性を有し、鮮明な画像形成が可能である。

Claim (excerpt)：

(1)下記一般式(I)で示されるジアゾニウム塩とアルカリ可溶性ポリマーとを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 は炭素数3〜18のアルキル基又は置換アルキル基を示し、R2 は水素原子、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール基、アルコキシ基、置換アルコキシ基、フェノキシ基、置換フェノキシ基又はハロゲン原子を示す。Aは有機基を、X- は対アニオンを示す。nは1〜4の整数、mは1〜3の整数を示し、n+m=4である。

IPC (5)：

G03F 7/016 501 ,  G03F 3/10 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027