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J-GLOBAL ID：200903091691831877

光学式形状計

Inventor： 陶山 恒夫 ,  竹中 正樹 ,  松本 有慎 ,  牧 宏 ,  竹腰 篤尚 ,  稲葉 護
Applicant, Patent owner： 日本鋼管株式会社
Agent (1)： 小林 久夫 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991306250
Publication number (International publication number)：1993001904
Application date： Nov. 21, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 表面が鏡面に近い被計測物の形状を、被計測物表面の傾斜変動等に影響されずに、オンラインで安定して連続計測できる光学式形状計。【構成】 被計測物11の表面にスポット光を照射する光照射手段2及び3と、その反射光からハーフミラー7を介して分離した透過光の受光強度の重心位置を検出する第1の光検出手段8及び12-1と、前記ハーフミラー7を介して分離した反射光の受光強度の重心位置を検出する第2の光検出手段9及び12-2と、前記第1及び第2の光検出手段8及び9の出力信号に基づき、所定の計測基準位置から被計測物11の表面までの距離を算出する演算手段13とを備えたもの。

Claim (excerpt)：

被計測物に対して集光された光を所定の入射角により照射する光照射手段と、前記被計測物の表面からの反射光をハーフミラーを介して透過光と反射光とに分離し、該分離された透過光を2次元の受光素子により受光し、その受光強度の重心位置信号を検出する第1の光検出手段と、前記ハーフミラーを介して分離された反射光を2次元の受光素子により受光し、その受光強度の重心位置信号を検出する第2の光検出手段と、前記第1の光検出手段から検出される受光強度の重心位置信号及び前記第2の光検出手段から検出される受光強度の重心位置信号に基づき、所定の計測基準位置から被計測物の表面までの距離を算出する演算手段とを備えたことを特徴とする光学式形状計。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特開昭62-083604
  
• 特開昭61-233303
  
• 特開平2-187604
  
• 特開昭57-104808
  
• 特開昭63-108218
  
• 光学式形状計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-306368   Applicant：日本鋼管株式会社