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J-GLOBAL ID：200903091694074864

レーザ加工方法

Inventor： 石川 紫文 ,  佐久間 健 ,  四方 朋子 ,  福田 武司 ,  細谷 英行
Applicant, Patent owner： 株式会社フジクラ
Agent (1)： 志賀 正武 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001389861
Publication number (International publication number)：2003181672
Application date： Dec. 21, 2001
Publication date： Jul. 02, 2003
Summary：

【要約】【課題】大きな作動距離が確保できて被加工物の深部での加工が行え、かつ高開口数でレーザ光を集光することができて微細加工が可能なレーザ加工法を得ることにある。【解決手段】石英ガラスなどの透明材料からなる被加工物3内部にレーザ光源1からのレーザ光を対物レンズ2を介して集光して入射し加工する際に、被加工物3の上に固体浸漬レンズ5を置き、対物レンズ2からのレーザ光をこの固体浸漬レンズ5を通して被加工物2内部に集光する。レーザ光にはフェムト秒レーザ光が好ましい。

Claim (excerpt)：

透明材料からなる被加工物内部に対物レンズを介してレーザ光を集光して屈折率上昇領域を作製する加工において、被加工物の上に固体浸漬レンズを置き、対物レンズからのレーザ光をこの固体浸漬レンズを通して被加工物内部に集光することを特徴とするレーザ加工方法。

IPC (4)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/08 ,  C03B 33/09 ,  H01S 3/00

FI (5)：

B23K 26/06 A ,  B23K 26/06 Z ,  B23K 26/08 A ,  C03B 33/09 ,  H01S 3/00 B

F-Term (10)：

4E068CA01 ,  4E068CA11 ,  4E068CD14 ,  4E068CE02 ,  4E068CE04 ,  4G015FA07 ,  5F072AB20 ,  5F072KK30 ,  5F072SS08 ,  5F072YY06