Pat

J-GLOBAL ID：200903091701432550

照明方法及び照明装置及びそれらを用いた露光装置

Inventor： 溝内 聡
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995146238
Publication number (International publication number)：1996339954
Application date： Jun. 13, 1995
Publication date： Dec. 24, 1996
Summary：

【要約】【目的】 コヒーレント光を露光光として用いる走査型露光装置において、均一な照明を可能にする照明方法を提供する。【構成】 照明領域の強度分布を測定する強度分布測定手段17の測定結果の変化に応じて、基板16の走査速度及び/または光源1が発するパルス光の発振周波数を変え、照明領域の基板16に対する変位量を調整し、基板16を均一に照明する。

Claim (excerpt)：

複数のパルス光が順次形成する照明領域を物体に対して走査することにより、前記照明領域を相対的に変位させながら重ね合わせ、前記照明領域よりも広い領域を照明する照明方法において、前記照明領域の強度分布を検出し、検出した変化後の強度分布に基づいて、前記物体がほぼ均一に照明されるように各パルス光による照明領域の相対的な変位量を制御することを特徴とする照明方法。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527