Pat

J-GLOBAL ID：200903091730382384

微細構造観察用試料の作製方法

Inventor： 中山 佳子 ,  郭 行健 ,  古屋 一夫
Applicant, Patent owner： 独立行政法人物質・材料研究機構
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007109414
Publication number (International publication number)：2008267908
Application date： Apr. 18, 2007
Publication date： Nov. 06, 2008
Summary：

【課題】従来周知の技術では、FIB加工技術を併用した微細構造化の手法で作製した微細構造に損傷を生じさせざるを得ないものであり、本発明は、このような損傷を生じさせないようにすることを目的とした。【解決手段】微細構造観察用試料の作製方法は、エネルギー硬化性樹脂にて前記微細構造を包埋し、前記微細構造を有する面に対向してダミー基材を配置して真空脱泡し、前記観察用試料と樹脂及びダミー基材間の間隙をなくし、次に前記樹脂に硬化エネルギーを付与させた後に、前記観察用試料の基材裏面(微細構造を設けていない面)から低角度でウェッジ型に鏡面研磨し、その後、研磨した面に対し集束イオンビームを照射して微細構造を加工する。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

基材表面に微細構造を形成してなる試料からFIB法により前記微細構造を加工する微細構造観察用試料の作製方法であって、エネルギー硬化性樹脂にて前記微細構造を包埋し、前記微細構造を有する面に対向して補強用基材を配置して真空脱泡し、前記試料と樹脂及び補強用基材間の間隙をなくし、次に前記樹脂に硬化エネルギーを付与して硬化させた後に、前記試料の基材裏面(微細構造を設けていない面)から低角度でウェッジ型に鏡面研磨し、その後、研磨した面に対し集束イオンビームを照射して微細構造を加工することを特徴とする微細構造観察用試料の作製方法。

IPC (1)：

G01N 1/28

FI (2)：

G01N1/28 G ,  G01N1/28 F

F-Term (8)：

2G052AA13 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052EC14 ,  2G052EC18 ,  2G052EC22 ,  2G052FA02 ,  2G052GA34