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J-GLOBAL ID：200903091736903130

イオン源

Inventor： 内藤 勝男
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992295038
Publication number (International publication number)：1994150861
Application date： Nov. 04, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：

【要約】【構成】 プラズマを生成するプラズマ生成室部5と、プラズマ生成室部5からの引出電流を測定して引出電流測定信号を出力する引出電流測定部17と、引出電流測定信号を用いて引出電流をフィードバック制御するマイクロ波出力部3とを有している。そして、プラズマ生成室部5と引出電流測定部17とマイクロ波出力部3とは、同電位にされている。【効果】 プラズマ生成室部5と引出電流測定部17とが同電位にされているため、引出電流測定部17とマイクロ波出力部3とを絶縁状態にする必要がない。よって、引出電流測定信号から得られるマイクロ波電力設定信号を直接的に引出電流測定部17からマイクロ波出力部3に入力することができるため、引出電流測定信号の伝送に要する回路構成が簡単化し、フィードバック制御の信頼性が向上したものになる。

Claim (excerpt)：

引出電流のフィードバック制御によって、プラズマ中からイオンビームを任意のビーム量で生成するイオン源において、上記プラズマを生成するプラズマ生成室部と、上記プラズマ生成室部からの引出電流を測定して引出電流測定信号を出力する引出電流測定手段と、上記引出電流測定信号を用いて引出電流をフィードバック制御する引出電流制御手段とを有し、上記プラズマ生成室部と引出電流測定手段と引出電流制御手段とが同電位にされていることを特徴とするイオン源。

IPC (4)：

H01J 37/08 ,  H01J 27/18 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/317