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J-GLOBAL ID：200903091745217843

光重合性組成物およびこの組成物を使用して調製した光重合性記録材料

Inventor： ウルリッヒ、ガイスラー ,  ハンス-ディーター、フロメルト ,  ハンス、ルーケルト
Applicant, Patent owner： ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991244382
Publication number (International publication number)：1994067427
Application date： Aug. 29, 1991
Publication date： Mar. 11, 1994
Summary：

【要約】本発明は、重合体結合剤、フリーラジカルにより重合することができ、少なくとも一つの末端エチレン性二重結合を有する化合物、およびN-複素環式化合物、式Iのチオキサントン誘導体、【化1】および式IIおよびIII の内の一つのジアルキルアミノ化合物【化2】【化3】(式中、R1 、R2 、R3 およびR4 は水素またはハロゲン原子またはアルキル、アルコキシ、カルボキシル、アルコキシカルボニルまたはアリールオキシカルボニル基を表し、R5 、R6 、R9 およびR10はアルキル基を表し、R7 はアルキルまたはアルコキシアルキル基を表し、R8 はアルキレン基を表す。)からなる光反応開始剤の組合わせを含む光重合性組成物を開示する。この組成物は感光性が高く、垂直側壁を有するフォトレジストステンシルを形成する。

Claim (excerpt)：

必須成分として、a)重合体結合剤、b)フリーラジカルにより重合することができ、少なくとも一つの末端エチレン性二重結合を有する化合物、およびc)光反応開始剤として作用するN-複素環式化合物を含む光重合性組成物であって、この組成物が、さらにd)式Iのチオキサントン誘導体、【化1】およびe)式IIおよびIII の内の一つのジアルキルアミノ化合物【化2】【化3】(式中、R1 、R2 、R3 およびR4 は水素またはハロゲン原子またはアルキル、アルコキシ、カルボキシル、アルコキシカルボニルまたはアリールオキシカルボニル基を表し、R5 、R6 、R9 およびR10はアルキル基を表し、R7 はアルキルまたはアルコキシアルキル基を表し、R8 はアルキレン基を表す。)からなる他の光反応開始剤成分を含むことを特徴とする組成物。

IPC (7)：

G03F 7/028 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/032 ,  G03F 7/038 505 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-062545
  
• 特開平2-067558
  
• 特開昭64-035438