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J-GLOBAL ID：200903091754966417

多面取り用メタルマスク及びその製造方法

Inventor： 大下 勇
Applicant, Patent owner： 東北パイオニア株式会社
Agent (1)： 藤村 元彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000048173
Publication number (International publication number)：2001237073
Application date： Feb. 24, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 有機エレクトロルミネセンス表示パネルの有機エレクトロルミネセンス媒体などの正確な形成ができるとともに製造効率を向上できるメタルマスク及びその製造方法を提供する。【解決手段】 メタルマスクは、蒸着源からの蒸着物質が通過する複数の貫通開口を各々が有する複数のメタルマスク領域を有する多面取り用メタルマスクであって、各々がメタルマスク領域を有する複数の単位メタルマスクと、単位メタルマスクの各々をメタルマスク領域以外の縁部で支持する開口縁部で画定された開口部を複数有する基材部と、を備える。

Claim (excerpt)：

複数の貫通開口を各々が有する複数のメタルマスク領域を有する多面取り用メタルマスクであって、各々がメタルマスク領域を有する複数の単位メタルマスクと、前記単位メタルマスクの各々を前記メタルマスク領域以外の縁部で支持する開口縁部で画定された開口部を複数有する基材部と、を備えたことを特徴とする多面取り用メタルマスク。

IPC (4)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/24 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14

FI (4)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/24 G ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A

F-Term (22)：

3K007AB04 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA10 ,  4K029BA15 ,  4K029BA45 ,  4K029BA47 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BB03 ,  4K029BC08 ,  4K029BC09 ,  4K029CA01 ,  4K029HA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 有機電界発光素子の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-281290   Applicant：東レ株式会社
• 特開昭62-202491
  
• 電子部品の製造装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-008273   Applicant：松下電器産業株式会社