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J-GLOBAL ID：200903091783835089

感光性樹脂組成物及びそのパターン形成方法

Inventor： 竹田 敏郎 ,  指田 暢幸 ,  真壁 裕明 ,  竹田 直滋
Applicant, Patent owner： 住友ベークライト株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995307947
Publication number (International publication number)：1997146274
Application date： Nov. 27, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】 接着性に優れた、極めて微細なポリイミドパターンを得ることのできる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感光基を含む特定構造のポリアミド酸エステル、エポキシ基を含有するシランカップリング剤とテトラカルボン酸二無水物とを反応させてなる有機ケイ素化合物、光重合開始剤及び/又は光増感剤からなる感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(1a)、(1b)及び(1c)で示されるポリアミド酸エステル、(B)下記一般式(2)で示される有機ケイ素化合物、(C)光重合開始剤及び/又は光増感剤を必須成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】【化2】

IPC (8)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 501 ,  C08F299/00 MRU ,  C08K 5/54 ,  C08L 77/06 KLB ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/075 501

FI (8)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 501 ,  C08F299/00 MRU ,  C08K 5/54 ,  C08L 77/06 KLB ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/075 501