Pat
J-GLOBAL ID：200903091804436643
磁気検出素子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
加藤 卓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995164834
Publication number (International publication number)：1996330645
Application date： Jun. 30, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：
【要約】【目的】 素子本体が薄膜で構成されてMI(磁気インピーダンス)効果による磁気検出を行なえ、アモルファスワイヤーで構成された素子よりも高性能で取り扱いが容易な磁気検出素子を提供する。【構成】 長方形の非磁性基板10の上面全面に高透磁率磁性膜12が成膜され、その長手方向両端部に端子としての導電膜14が成膜され、これにワイヤー18が半田16で接続される。素子の長手方向、すなわち磁性膜12の長手方向が検出対象の外部磁界の印加方向に沿うように配される。また磁性膜12は、磁化容易軸の方向が膜面内で長手方向に垂直な方向となるように磁気異方性がつけられている。ワイヤー18を介して磁性膜12に長手方向両端部から高周波電流を印加して外部磁界により磁性膜12の長手方向両端部間に発生するインピーダンスの変化を電気信号に変換して出力が得られる。
Claim (excerpt)：
磁気インピーダンス効果を利用した磁気検出素子であって、非磁性基板上に略長方形の高透磁率磁性膜を成膜して構成され、前記高透磁率磁性膜は、長手方向が検出対象の外部磁界の印加方向に沿うように配され、且つ磁化容易軸の方向が膜面内で長手方向に垂直な方向となるように磁気異方性がつけられており、前記高透磁率磁性膜に長手方向両端部から高周波電流を印加して外部磁界により前記高透磁率磁性膜の長手方向両端部間に発生するインピーダンスの変化を電気信号に変換して出力が得られるようにしたことを特徴とする磁気検出素子。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 43/00
, G01R 33/06 R
