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J-GLOBAL ID:200903091806239918
水溶性ポリイミド前駆体、ポリイミド前駆体水溶液、およびその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994144623
Publication number (International publication number):1996003445
Application date: Jun. 27, 1994
Publication date: Jan. 09, 1996
Summary:
【要約】【構成】ポリアミック酸に、水溶性有機アミンを該ポリアミック酸のカルボキシル基の0.5倍モル当量以上付加した水溶性ポリイミド前駆体、および、その水溶液である。【効果】本発明の水溶性ポリイミド前駆体は、有機溶媒を用いずにウェットコーティングを行なうことができ、安全上好ましい。また、耐溶剤性の不良なポリイミド膜の多層膜を形成することができる。
Claim (excerpt):
(a)ポリアミック酸に、(b)水溶性有機アミンを該ポリアミック酸のカルボキシル基の0.5倍モル当量以上付加した水溶性ポリイミド前駆体。
IPC (6):
C08L 79/08 LRB
, C08K 5/17
, G03F 7/038 504
, H01L 21/312
, H01L 23/29
, H01L 23/31
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