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J-GLOBAL ID：200903091857981074

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 中村 直寛 ,  西本 尚弘 ,  中西 博昭
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 倉内 義朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996228474
Publication number (International publication number)：1998073607
Application date： Aug. 29, 1996
Publication date： Mar. 17, 1998
Summary：

【要約】【課題】 試料まわりの構成が制限され難く、しかも湿度などの影響も受け難くい構造のカンチレバーチップを備えた走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 カンチレバーチップ1のカンチレバー部1bの自由端に反射面1dを形成し、この反射面1dへの光照射と反射光の伝達を行うための光導波路2を台座1c上に形成して、これら反射面1dと光導波路2を利用して探針1aの変位を検出する。このような構成により、変位検出器を試料から離れた場所に配置することが可能になる。

Claim (excerpt)：

探針をもつカンチレバーチップと、このチップの探針と試料とを2次元方向に相対的に移動する機構を有し、その移動過程で探針の変位を検出して試料表面の微細構造の測定情報を得る顕微鏡において、上記カンチレバーチップが、カンチレバー部とこれを支持する台座からなり、そのカンチレバー部の自由端に上記探針と台座側からの光を反射する反射面が形成され、かつ、台座上に光導波路が上記反射面と対向して形成され、これら反射面と光導波路を利用して探針の変位を検出するように構成されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30

FI (3)：

G01N 37/00 G ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z