Pat

J-GLOBAL ID：200903091866035572

レーザプラズマX線源

Inventor： 藤崎 久雄 ,  近藤 洋行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993229174
Publication number (International publication number)：1995085990
Application date： Sep. 14, 1993
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 プラズマで発生したX線の利用効率を高める。【構成】 集光したレーザ光Lを標的材5に照射してプラズマPを生成し、このプラズマPで発生したX線χを取出部3から取り出すレーザプラズマX線源において、プラズマPの生成位置から取出部3に向かうX線χ以外のX線χrを集光して取出部3に向けて導く集光手段11を設けた。

Claim (excerpt)：

集光したレーザ光を標的材に照射してプラズマを生成し、このプラズマで発生したX線を取出部から取り出すレーザプラズマX線源において、前記プラズマ生成位置から前記取出部に向かうX線以外のX線を集光して前記取出部に向けて導く集光手段を備えたことを特徴とするレーザプラズマX線源。

IPC (2)：

H05G 2/00 ,  G21K 5/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-112498
  
• 特開平4-258799
  
• 多層膜反射鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-251143   Applicant：日本電信電話株式会社
• X線多層膜反射鏡の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-256695   Applicant：株式会社ニコン