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J-GLOBAL ID：200903091885344217

枚葉式の熱処理装置

Inventor： 荒見 淳一 ,  石川 賢治 ,  北村 昌幸
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 浅井 章弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995210973
Publication number (International publication number)：1997045624
Application date： Jul. 27, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：

【要約】【目的】 シャワーヘッド部と載置台の大きさを規定することにより処理ガスの供給と消費をバランスさせて膜厚の面内均一性を向上させた枚葉式の熱処理装置を提供する。【構成】 被処理体Wを載置するための載置台14と、この載置台を加熱するための加熱手段22と、前記載置台に平行に対向配置された処理ガス供給用のシャワーヘッド部32とを有する枚葉式の熱処理装置において、前記載置台と対向する前記シャワーヘッド部のガス噴出面の直径L3が前記載置台の直径L4と略同一になるように構成する。これにより、処理ガスの供給量と消費量をバランスさせて膜厚の面内均一化を図る。

Claim (excerpt)：

加熱される被処理体支持体に被処理体を設け、この被処理体に処理ガス供給用のシャワーヘッド部から処理ガスを供給して熱反応により成膜する枚葉式の熱処理装置において、前記支持体及び前記シャワーヘッド部のガス噴出面の直径が略同一になるように構成したことを特徴とする枚葉式の熱処理装置。

IPC (2)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511

FI (2)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 S

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-211115
  
• 特開平3-083894
  
• 特開平4-211115
  
• 特開平3-083894