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J-GLOBAL ID：200903091888814796

スパッタ割れのない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット

Inventor： 姜 仁鎬 ,  小田 淳一
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 富田 和夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000000593
Publication number (International publication number)：2001181833
Application date： Jan. 06, 2000
Publication date： Jul. 03, 2001
Summary：

【要約】【課題】 大電力スパッタリングを行っても割れ発生がない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】 二酸化ケイ素:10〜30mol%、Cu:0.5〜10mol%を含有し、残りがカルコゲン化亜鉛からなる組成を有する焼結体からなるスパッタリングターゲット。

Claim (excerpt)：

二酸化ケイ素:10〜30mol%、Cu:0.5〜10mol%を含有し、残りがカルコゲン化亜鉛からなる組成を有する焼結体からなることを特徴とするスパッタ割れのない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット。

IPC (5)：

C23C 14/34 ,  C04B 35/00 ,  C04B 35/547 ,  G11B 7/24 534 ,  G11B 7/26

FI (5)：

C23C 14/34 A ,  G11B 7/24 534 K ,  G11B 7/26 ,  C04B 35/00 H ,  C04B 35/00 T

F-Term (17)：

4G030AA37 ,  4G030AA56 ,  4G030AA61 ,  4G030BA01 ,  4G030GA29 ,  4G030GA33 ,  4K029BD12 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  5D029LA13 ,  5D029LA14 ,  5D029LA15 ,  5D121AA04 ,  5D121EE03 ,  5D121EE09 ,  5D121EE13