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J-GLOBAL ID:200903091910238230

ハンドリングシステム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995274720
Publication number (International publication number):1997089984
Application date: Sep. 28, 1995
Publication date: Apr. 04, 1997
Summary:
【要約】【課題】 ローダ・アンローダユニットの停止時間を短くして効率の良い稼働ができ、また少ない設備投資でハンドリングシステムを構築できるとともに、テストタイムが短いICを測定する場合においてもハンドリングシステムの組み替えにより容易に対応が可能であるハンドリングシステムを提供する【解決手段】 ロ-ダ・アンロ-ダユニット1とテストユニット2のフレ-ムは分離されており、テストユニット2上にロ-ダ・アンロ-ダユニット1とテストユニット2間のキャリア3を搬送するキャリア搬送ユニット4が設けられている。これにより、テストユニット2をロ-ダ・アンロ-ダユニット1に対し複数台並べた場合でもキャリア3の分配が可能となる。
Claim (excerpt):
キャリア(3) によりICを一括して搬送し、ICテスタによりICを測定、分類、並びに収納するオートハンドラを備えたハンドリングシステムにおいて、未測定のICをその収納容器からキャリア(3) へ移載するともに測定済のICをキャリア(3) から収容容器に分類して収納するローダ・アンローダユニット(1) と、ICの電気的信号をICテスタに伝送するためのICソケットにICを接触させるテストユニット(2) とを分離し、前記テストユニット(2) には、前記ローダ・アンローダユニット(1) と前記テストユニット(2) との間においてキャリア(3) を搬送するキャリア搬送ユニット(4) を設け、ICテスタによるICのテストタイムに応じて、前記ローダ・アンローダユニット(1) に接続する前記テストユニット(2) の台数を増減するようにすることを特徴とするハンドリングシステム。
IPC (3):
G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68
FI (3):
G01R 31/26 Z ,  H01L 21/66 G ,  H01L 21/68 A

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