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J-GLOBAL ID：200903091913531583

三次元LSI積層装置

Inventor： 猪谷 彦太郎 ,  堀内 聖二 ,  藤原 彰彦 ,  藤田 善仁
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 光石 俊郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995303987
Publication number (International publication number)：1997148207
Application date： Nov. 22, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】 三次元LSI積層装置において、2枚のウェーハを変形なく精度良く接着することで高精度な三次元LSIを製造可能とする。【解決手段】 石英ガラス29に保持された上ウェーハW1 の下面に紫外線硬化型接着剤を塗布し、この上ウェーハW1 に対して真空チャック22に吸着保持された下ウェーハW2 を位置決め押圧した状態で、石英ガラス29を透過した紫外線を照射して接着剤を硬化させることで、両ウェーハW1 ,W2 を接着して積層三次元LSIを形成する三次元LSI積層装置において、上ウェーハW1 を保持する石英ガラス29の変形を防止するバックアップガラス30をこの石英ガラス29の上面に設ける。

Claim (excerpt)：

上ウェーハを下面に保持した石英ガラスがハウジングを介して本体ステージの上部に固定される一方、前記上ウェーハに対向する下ウェーハを上面に保持された移動ステージが前記本体ステージに対して互いに直交する3方向に移動調整自在に支持され、前記上ウェーハと下ウェーハとの対向する少なくとも一方の面に接着剤を塗布し、前記移動ステージを移動して前記上ウェーハに対して前記下ウェーハが位置決め押圧された状態で、上方より前記石英ガラスを透過した熱エネルギ線を照射して前記接着剤を硬化させることで、前記上ウェーハと下ウェーハとを接着して積層三次元LSIを形成する三次元LSI積層装置において、前記上ウェーハに対する前記移動ステージ上の前記下ウェーハの押圧時における前記石英ガラスの変形を防止する透過性耐変形部材を該石英ガラスの上面に設けたことを特徴とする三次元LSI積層装置。

IPC (2)：

H01L 21/02 ,  H01L 27/00 301

FI (2)：

H01L 21/02 B ,  H01L 27/00 301 B