Pat

J-GLOBAL ID：200903091916627662

被覆すべき表面の清浄化方法

Inventor： エーリッヒ ベークマン ,  ハンス ブラエンドレ ,  ミヒャエル ハンス
Applicant, Patent owner： バルツェルス アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 宇井 正一 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993324046
Publication number (International publication number)：1994299320
Application date： Dec. 22, 1993
Publication date： Oct. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 被覆すべき表面の清浄化を、後に被覆処理のために使用される同じ処理装置を使って行うことができる乾式の表面清浄化方法を提供する。【構成】 清浄化しようとする表面に結合層を設けるか、または表面層を結合層として利用し、そしてこの結合層を除去して、後に被覆すべき表面を得るようにする。

Claim (excerpt)：

後に被覆すべき表面の清浄化方法であって、表面に結合層を設けるか、または表面層を結合層として利用し、そして、後に被覆すべき表面を得るために、この結合層を除去することを特徴とする方法。

IPC (5)：

C23C 14/02 ,  B08B 7/00 ,  C23F 4/00 ,  C23F 4/02 ,  C23G 5/00