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J-GLOBAL ID：200903091942319925

投影露光装置

Inventor： 戸口 学
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 岡部 正夫 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996098029
Publication number (International publication number)：1997283416
Application date： Apr. 19, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 複数のレチクルを用いて同一の感光基板を露光する場合のレチクルのセッティングの時間を短縮して生産性を向上させる。【解決手段】 照明光学系からの光束で所定の被投影位置に置かれたレチクルを照明し、該レチクルの像を投影光学系を介して感光基板上に投影して基板を露光する投影露光装置において、1つの感光基板の露光に用いられる複数のレチクルを収容している可搬なレチクルマガジンと、該レチクルマガジンを収納するレチクルライブラリと、前記被投影位置近傍に設けられ前記レチクルマガジンを待機させる中継所と、前記レチクルマガジンを前記レチクルライブラリから前記中継所上へと搬送するマガジン搬送手段と、を設ける。

Claim (excerpt)：

照明光学系からの光束で所定の被投影位置に置かれたレチクルを照明し、該レチクルの像を投影光学系を介して感光基板上に投影して基板を露光する投影露光装置において、1つの感光基板の露光に用いられる複数のレチクルを収容している可搬なレチクルマガジンと、該レチクルマガジンを収納するレチクルライブラリと、前記被投影位置近傍に設けられ前記レチクルマガジンを待機させる中継所と、前記レチクルマガジンを前記レチクルライブラリから前記中継所上へと搬送するマガジン搬送手段と、を有することを特徴とする投影露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (6)：

H01L 21/30 514 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 515 F