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J-GLOBAL ID：200903091950027410

ICP分析用チャンバ及びそれを用いる有機溶媒試料の分析方法

Inventor： 川田 哲 ,  大橋 和夫
Applicant, Patent owner： 株式会社ジャパンエナジー分析センター ,  セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 小松 秀岳 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998263175
Publication number (International publication number)：2000088755
Application date： Sep. 17, 1998
Publication date： Mar. 31, 2000
Summary：

【要約】【課題】 有機溶媒を導入してもプラズマが安定であり、発光強度あるいは質量分析におけるイオン強度等、分析値の変動が少ないICP分析装置及び分析方法を提供する。【解決手段】 チャンバ内部にコイル状の冷却管を挿入し、これに冷却ガスとして液体窒素で冷却した窒素ガス、或は液体窒素を蒸発させて得られる窒素ガスを流す。これにより、長時間に渡って安定な分析値が得られる。

Claim (excerpt)：

チャンバ容器2内にコイル状の冷却管1を設けたことを特徴とするICP分析用チャンバ。

IPC (2)：

G01N 21/73 ,  G01N 21/01

FI (2)：

G01N 21/73 ,  G01N 21/01 C

F-Term (24)：

2G043AA01 ,  2G043BA14 ,  2G043CA03 ,  2G043DA01 ,  2G043DA05 ,  2G043DA08 ,  2G043EA08 ,  2G043GA07 ,  2G043GA19 ,  2G043GB05 ,  2G043GB07 ,  2G043GB09 ,  2G043MA03 ,  2G043MA11 ,  2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059CC12 ,  2G059DD01 ,  2G059DD12 ,  2G059DD18 ,  2G059EE06 ,  2G059NN02 ,  2G059NN05 ,  2G059PP03