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J-GLOBAL ID：200903091955467494

ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor： 高木 良博
Applicant, Patent owner： 富士フイルムアーチ株式会社
Agent (5)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  栗宇 百合子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002158919
Publication number (International publication number)：2004004233
Application date： May. 31, 2002
Publication date： Jan. 08, 2004
Summary：

【課題】アルカリ性水溶液で現像でき、高感度であり、しかも、平坦性、高解像性、現像性、耐熱性、耐薬品性、基板との密着性、透明性、絶縁性等の諸特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物、更には、上記諸特性と同時に低誘電特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。【解決手段】少なくともスチレン類又はベンジル(メタ)アクリレート、アクリル酸又はメタクリル酸、及びヒドロキシアルキルエステルを構成単位として有する共重合体からなるアルカリ可溶性樹脂、1,2-ナフトキノンアジド基含有化合物、および架橋剤を少なくとも含有するポジ型感光性樹脂組成物。前記ポジ型感光性樹脂組成物を、塗布、第1露光、現像、第2露光、加熱処理を順次行う工程において、第2露光の光量が、第1露光の1〜15倍であるパターン形成方法。

Claim (excerpt)：

少なくとも(a)スチレン類又はベンジル(メタ)アクリレート、(b)アクリル酸又はメタクリル酸、及び(c)ヒドロキシアルキルエステルを構成単位として有する共重合体からなるアルカリ可溶性樹脂、下記一般式(I)で表されるポリヒドロキシ化合物の1,2-ナフトキノンアジド-5-(及び/又は-4-)スルホン酸エステル、および架橋剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F7/022 ,  G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

FI (5)：

G03F7/022 601 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R

F-Term (40)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CA01 ,  2H025CA14 ,  2H025CA18 ,  2H025CA48 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA10 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03 ,  2H096JA04