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J-GLOBAL ID：200903091963503327

基板処理システム、その制御装置、及びレシピ表示方法

Inventor：
松井 良一

About 松井 良一


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (1)： 小野 由己男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001035323
Publication number (International publication number)：2002236514
Application date： Feb. 13, 2001
Publication date： Aug. 23, 2002
Summary：
【要約】【課題】 液晶表示パネルやプラズマ表示パネル等に用いるガラス基板、半導体ウエハ等の基板処理システムにおいて、基板の処理条件であるレシピの内容を容易に知ることができるようにすることである。【解決手段】 レシピ画面において、処理ユニット(洗浄ユニット、脱水ベークユニット、塗布ユニット等)のサブレシピ番号の領域にポインタを重ねたとき、当該サブレシピ番号により特定される処理条件の内容を表すコメント(「動作有り・薬液有り」)を表示させる。これにより、各処理処理ユニットでの処理条件を容易に把握し、レシピの編集が容易になる。
Claim (excerpt)：
基板を複数の処理ユニット間で移動させ所定の処理を行う基板処理装置を制御する制御装置であって、前記基板の処理の条件としてのプロセスデータの前記各処理ユニットにおける集合であるプロセスデータセットを特定するプロセスデータ番号を、前記処理ユニットの名称及び前記プロセスデータの前記各処理ユニットにおける集合と共に格納するプロセスデータセット記憶手段と、前記プロセスデータ番号の集合であるレシピを特定するレシピ番号を、前記処理ユニットの名称及び前記プロセスデータ番号の集合と共に格納するレシピ番号記憶手段と、前記プロセスデータ番号を、前記処理ユニットの名称及び前記プロセスデータの前記各処理ユニットにおける集合と共に画面上に表示するプロセスデータセット画面表示手段と、前記レシピ番号を、前記処理ユニットの名称及び前記プロセスデータ番号の集合と共に画面上に表示するレシピ画面表示手段と、前記プロセスデータセット画面において、前記プロセスデータ番号に対応するコメントを入力可能であるプロセスデータコメント入力手段と、前記レシピ画面において、前記プロセスデータ番号にポインタが重なるとき、当該プロセスデータ番号に対応するコメントを表示する第1表示手段と、を備える基板処理装置の制御装置。
IPC (3)：
G05B 19/418 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G05B 19/418 Z ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/30 562
F-Term (10)：
3C100AA18 ,  3C100BB13 ,  3C100CC02 ,  3C100EE06 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046DA29 ,  5F046DD01 ,  5F046JA22 ,  5F046LA18
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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