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J-GLOBAL ID：200903091989696581

異種材料接合物の接合不良検査方法及び装置

Inventor： 千秋 謙三 ,  伏見 直文 ,  加藤 茂
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993001138
Publication number (International publication number)：1994201623
Application date： Jan. 07, 1993
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 簡単な構成で、検査対象物の接合不良部を検出する方法及び装置を得る。【構成】 金属3と金属3より熱伝導の悪い金属4の接合面6に接合不良部7があるか否かを検査するに際し、金属4の側から高輝度光源10により対象部位を加熱し、対象部位を赤外線撮像装置1、2により撮像し、モニタ8に対象部位の温度分布像を得る。モニタ8の像には、接合不良部7に相当する位置に他と温度分布の異なる領域7aが現われる。

Claim (excerpt)：

異種の材料を接合した検査対象物を熱伝導の悪い材料の側から熱源により加熱し、異種材料の熱伝導率の違いを利用して接合不良部を赤外線撮像装置で検出することを特徴とする接合不良検査方法。