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J-GLOBAL ID：200903091997411804
液晶用カラーフィルター検査方法及び装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
坂間 暁 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994255083
Publication number (International publication number)：1996122271
Application date： Oct. 20, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：
【要約】【目的】 液晶用カラーフィルターの突起を検査する方法及び装置に関し、突起からの反射光を鮮明にし、正確に計測できる。【構成】 キセノンフラッシュランプ103はメインコントローラ101、光源コントローラ102に制御され、紫外又は赤外光を含む光をオーバーコート膜を施したカラーフィルター105で照射する。ブラックマトリックス111上に異物110があり、そのためカラーフィルター105表面上に突起109が生じ、照射した光はカラーフィルター105表面上ですべて反射して散乱光となり、突起109からの散乱光をフィルター106を通す。フィルター106は紫外又は赤外光のみを透過し、光検出器107で検出し、画像処理装置108で処理して突起の位置及び高さを算出する。ブラックマトリックス111からの反射光がないので正確な突起の判別ができる。
Claim (excerpt)：
液晶用カラーフィルター表面のオーバーコート膜に対して光を照射し、同オーバーコート膜から反射する散乱光を検出し、その検出した光から画像処理アルゴリズムにより同オーバーコート膜表面の突起位置と突起高さの絶対値を検出する液晶用カラーフィルター検査方法において、前記光に少くとも不透明な紫外あるいは赤外いずれかを含む光を使用して、前記突起からの散乱光を検出することにより、前記カラーフィルター端部やその基部のブラックマトリックスからの光散乱を低減することを特徴とする液晶用カラーフィルター検査方法。
IPC (2)：
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