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J-GLOBAL ID：200903092000861097

荷電粒子線装置

Inventor： 市橋 幹雄 ,  勝田 禎治
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 薄田 利幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992229572
Publication number (International publication number)：1994076776
Application date： Aug. 28, 1992
Publication date： Mar. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】荷電粒子線装置において、荷電粒子源を収納している鏡筒部の内部を常に高真空に維持したままで、該鏡筒部を他の観察、加工装置等に取付けて複合化することが容易にできるように構成すること。【構成】電子源1とレンズ電極4,5,6等からなる収束レンズ系とを含む鏡筒部13が上部フランジ17に気密固定され、該上部フランジ17がベローズ15を介してゲートバルブ9を組み込んでなる下部フランジ16に気密に取付けられている。下部フランジ16を相手装置の真空壁18に取付けたら、ゲートバルブ9を開き、その開口部10を通して鏡筒部13の先端部(対物レンズ部分)を試料7側に押し下げるだけで、複合化が完了する。【効果】複合化すべき相手装置への鏡筒部の装着脱時に、鏡筒部内を大気にさらすことがないので、荷電粒子源の不安定化を防止でき、かつ、鏡筒部内の再排気や、加熱焼出し等の面倒な操作も不要となる。

Claim (excerpt)：

少なくとも荷電粒子を発生させるための荷電粒子源と該荷電粒子源からの荷電粒子を収束させるための荷電粒子収束光学系とを収納している鏡筒部を有する荷電粒子線装置において、上記荷電粒子収束光学系における最終レンズ部の下方に上記鏡筒部を他の装置に真空気密に取り付けるための真空フランジ部を設け、かつ該真空フランジ部に上記鏡筒部の内部空間の真空を維持するための真空バルブを設けてなることを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (3)：

H01J 37/18 ,  H01J 37/16 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-051439
  
• 特開平4-004548
  
• 特開平2-160351
  
• 特開平2-160351