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J-GLOBAL ID：200903092012023739
プラズマ処理装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992321842
Publication number (International publication number)：1994168912
Application date： Dec. 01, 1992
Publication date： Jun. 14, 1994
Summary：
【要約】【目的】 チャンバの開口部における異物の発生を防止して被処理物に対する異物の付着に起因する処理不良の発生を確実に防止することが可能なプラズマ処理技術を提供する。【構成】 チャンバ1を構成する蓋体1aおよび基体部1bの開口部におけるシール部材2の内側にアルマイトコーティング3aを施し、チャンバ1の内壁部に設けられた絶縁物コーティング3と協働してプラズマに曝される導体領域を完全に隠蔽し、プラズマが導体に触れることに起因する異物の発生を防止する。蓋体1aおよび基体部1bの開口部におけるシール部材2の外側には、突起部1cおよびNiコーティング8を設け、蓋体1aと基体部1bが確実に電気的な導通状態になるようにして蓋体1aにおける電荷の蓄積を防止し、異常放電の発生を回避する。
Claim (excerpt)：
導体からなり相互に分割可能な蓋体および基体部をシール部材を介して気密に接合してなるチャンバと、前記蓋体に支持された第1の電極と、この第1の電極に対向し、被処理物を支持する第2の電極とからなり、前記第1および第2の電極の間に高周波電力を印加し、所望の処理流体のプラズマを形成して前記被処理物に所望の処理を施すプラズマ処理装置であって、前記蓋体および基体部の内壁面を覆う第1の絶縁手段と、前記蓋体および基体部の開口部における前記シール部材の内側領域を覆う第2の絶縁手段と、前記シール部材の外側における前記蓋体および基体部の少なくとも一方の開口部に突設され、当該蓋体および基体部を接続する突起部とを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (2)：
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