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J-GLOBAL ID：200903092014574724

カラーフイルタ用ブラツクマスク

Inventor： ▲斉▼藤 義一 ,  新井 薫 ,  荒井 将善
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991289577
Publication number (International publication number)：1993127014
Application date： Nov. 06, 1991
Publication date： May. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】 液晶表示パネル等に利用されるカラーフィルタのブラックマスクに関し、パターンの高精度化等を目的とする。【構成】 ガラス基板2のカラーフィルタ用ブラックマスク21,22 が、金属クロム層21b,22a と酸化金属クロム層21a,22b の2層構成、またはタンタルと酸化タンタルの2層構成、またはアルミニウムと酸化アルミニウムの2層構成とする。ガラス基板2のカラーフィルタ用ブラックマスク23が、金属クロム層23b をその厚さ方向に一対の酸化金属クロム層23a,23c で挟んだ3層構成、またはタンタル層をその厚さ方向に一対の酸化タンタル層で挟んだ3層構成、またはアルミニウム層をその厚さ方向に一対の酸化アルミニウム層で挟んだ3層構成とする。ガラス基板2のカラーフィルタ用ブラックマスク24が、金属クロム膜またはタンタル膜またはアルミニウム膜の不要部を除去したのち、該除去に伴う露呈面に酸化処理を施して形成させる。

Claim (excerpt)：

多数の色画素(4R,4GP4B)間に対応する如くガラス基板(2) に形成したブラックマスク(21,22) が、金属クロム層(21b,22a) と酸化金属クロム層(21a,22b) の2層構成、またはタンタルと酸化タンタルの2層構成、またはアルミニウムと酸化アルミニウムの2層構成であることを特徴とするカラーフィルタ用ブラックマスク。

IPC (2)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505