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J-GLOBAL ID：200903092038082237
異物検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991212845
Publication number (International publication number)：1993034124
Application date： Jul. 30, 1991
Publication date： Feb. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】装置に特有のクセがあっても、この影響を克服して、検査対象基板上の異物の位置を正確に再現できるようにした異物検査装置を提供すること。【構成】検出された複数の異物について、光走査ミラー27の振り角信号と検査ステージ12の走査方向における移動情報をもとにした異物の実際の位置情報に基づいてある関数関係を求め、この関数関係に基づいて異物の検出位置を補正するようにしている。
Claim (excerpt)：
検査対象基板を載置する検査ステージを、異物検査位置と異物観察位置との間を直線的に移動できるように構成すると共に、異物検査位置においては、検査対象基板の表面に対して一定の偏向角を有するレーザ光を光走査ミラーによって走査しながら照射し、そのときの検査対象基板の表面からの反射散乱光を検出光学系に入射させ、この検出光学系による反射散乱光の検出結果に基づいて検査対象基板の表面における異物を検査すると共に、異物観察位置においては、検出された異物を顕微鏡によって観察確認するようにした異物検査装置において、検出された複数の異物について、光走査ミラーの振り角信号と前記検査ステージの走査方向における移動情報をもとにした異物の実際の位置情報に基づいてある関数関係を求め、この関数関係に基づいて異物の検出位置を補正するようにしたことを特徴とする異物検査装置。
IPC (5)：
G01B 11/24
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G03F 1/08
, H01L 21/66
