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J-GLOBAL ID：200903092048725993

ハレーション止め組成物

Inventor： ジエイムズ・ダブリユ・サツカリー ,  ジヨージ・ダブリユ・オースラ
Applicant, Patent owner： シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
Agent (1)： 川口 義雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992328816
Publication number (International publication number)：1994118631
Application date： Nov. 13, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：

【要約】【構成】 ハレーション止め組成物と、フォトレジストがその組成物上に被覆された前記ハレーション止め組成物の露光放射の反射を低減させるための方法。該ハレーション止め組成物は、樹脂バインダーと、前記樹脂バインダーとの熱活性化架橋反応を引き起こすことが可能な材料を含む。【効果】 入射露光放射と反射露光放射を著しく吸収し、且つ、定在波の著しい減衰をもたらす。

Claim (excerpt)：

上塗りフォトレジスト層と架橋させられる被覆層を形成することが可能なハレーション止め組成物であって、前記組成物が、樹脂バインダーと、前記樹脂バインダーとの熱活性化架橋反応を引き起こすことが可能な架橋剤化合物を含む前記組成物。

IPC (6)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 506 ,  G03F 7/004 515 ,  G03F 7/11 503 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-110447
  
• 特開昭64-061441