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J-GLOBAL ID：200903092062975234

真空装置用の窓材

Inventor： 山本 正剛 ,  大西 隆 ,  板山 克広 ,  久本 淳 ,  池田 貢基
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 植木 久一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995256579
Publication number (International publication number)：1997095771
Application date： Oct. 03, 1995
Publication date： Apr. 08, 1997
Summary：

【要約】【課題】 熱・プラズマCVD装置等の真空装置におけるマイクロ波導入用の窓材について透明性や耐熱性を損なうことなく耐弗素プラズマ性を改善する。【解決手段】 溶融石英ガラス製等の透明セラミックス製窓材のチャンバー内側となる面に、該窓材構成物質の熱膨張係数と実質的に同一であるか若しくはより大きく、後記非晶質Al2 O3 のそれより小さい熱膨張係数を有する物質からなる下地層が形成され、更に上部層として、実質的に非晶質のAl2 O3 膜がコーティングされる。

Claim (excerpt)：

チャンバー内に腐食性ガスが存在する真空装置における透明セラミックス製窓材であって、該窓材のチャンバーの内側となる面に、Al,Si,O,Nよりなる群から選択される1種以上のイオン注入により形成されたこれら元素の濃度富化層を有すると共に、上部層として実質的に非晶質のAl2 O3 膜がコーティングされてなることを特徴とする透明性及び耐熱性の優れた真空装置用窓材。

IPC (2)：

C23C 14/18 ,  H01L 21/31

FI (2)：

C23C 14/18 ,  H01L 21/31 C