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J-GLOBAL ID：200903092075081585

電子線ホログラフィ実時間位相計測方法及び装置

Inventor： 陳 軍 ,  来 関明 ,  石塚和夫 ,  外村 彰
Applicant, Patent owner： 新技術事業団 ,  外村 彰
Agent (1)： 蛭川 昌信
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992133870
Publication number (International publication number)：1993323859
Application date： May. 26, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 電子線ホログラムを撮影と同時に実時間で光学的干渉顕微鏡像として再生し、観察対象物の位相分布あるいは強度分布を実時間で観察可能にする。【構成】 電子線参照波と試料2により変調された電子線物体波との干渉縞からなる電子線ホログラムを撮像手段10により撮像し、撮像されたホログラムを空間的な強度変調機能又は空間的な位相変調機能を持つ電気光学的表示素子12に表示させ、この電気光学的表示素子12にコヒーレント光を入射することにより再生された物体波に平面波又は共役物体波を重ねて、実時間で干渉顕微鏡像を形成する。

Claim (excerpt)：

電子線参照波と試料により変調された電子線物体波との干渉縞からなる電子線ホログラムを撮像手段により撮像し、撮像されたホログラムを空間的な強度変調機能又は空間的な位相変調機能を持つ電気光学的表示素子に表示させ、この電気光学的表示素子にコヒーレント光を入射することにより再生された物体波に平面波又は共役物体波を重ねて、実時間で干渉顕微鏡像を形成することを特徴とする電子線ホログラフィ実時間位相計測法。

IPC (3)：

G03H 5/00 ,  G02B 27/50 ,  G02F 1/13 505