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J-GLOBAL ID：200903092089178360

電子部品及びその製造方法

Inventor： 谷口 浩司
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993315698
Publication number (International publication number)：1995169966
Application date： Dec. 16, 1993
Publication date： Jul. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ITO膜上でのAl膜のパターニングを行うデバイスに対し、通常発生する「電食」の問題を解決する。【構成】 Al膜表面を陽極酸化する。

Claim (excerpt)：

透明導電膜が下層で、アルミニウム膜又はアルミニウム合金膜が上層として接する構造で、アルミニウム膜又はアルミニウム合金膜をフォトリソ技術によりパターニングする電子部品において、前記アルミニウム膜又はアルミニウム合金膜上に、このアルミニウム又はアルミニウム合金膜の酸化膜を形成することを特徴とする電子部品。

IPC (4)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/40 ,  H01L 31/04

FI (3)：

H01L 29/78 311 A ,  H01L 29/78 311 N ,  H01L 31/04 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平3-008212