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J-GLOBAL ID：200903092091316037

測定試料の断面画像測定方法及びそのための装置

Inventor： 佐藤 学 ,  丹野 直弘
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000162054
Publication number (International publication number)：2001343321
Application date： May. 31, 2000
Publication date： Dec. 14, 2001
Summary：

【要約】【課題】 測定試料の断面画像測定にあたり、光軸方向の空間分解能を向上させ、高感度化・高空間分解能化を図ることができる。【解決手段】 光源1と、この光源1からの光波がビームスプリッター3及び対物レンズ4を通って照射される測定試料5と、この測定試料5からの後方散乱光である信号光21が前記対物レンズ4、前記ビームスプリッター3及びバイプリズム9を通って入射するとともに、参照光22が前記ビームスプリッター3、ヘテロダイン検出のための位相変調器6を通過後、ミラー7,8及び前記バイプリズム9を介して入射し、前記信号光21と参照光22のなす角2θにより、空間干渉強度パターンを生ぜしめる1次元アレイ光検出装置10と、前記位相変調器6の変調周波数をfとして、前記空間干渉強度パターンを時間的に周波数fで変化させるとともに、ビート振幅の1次元分布として記憶させるメモリを有する信号処理装置13とを備え、前記空間干渉強度値をN乗し、その半値全幅をほぼ1/√Nに狭くし、光軸方向の空間分解能を向上させる。

Claim (excerpt)：

光軸方向の後方散乱光強度プロファイルの測定と光軸に対する横方向走査とを交互に行うことによる測定試料の断面画像測定方法において、(a)ヘテロダイン検出方式を用いて空間干渉強度分布測定を行い、(b)前記空間干渉強度値をN乗し、その半値全幅をほぼ1/√Nに狭くし、光軸方向の空間分解能を向上させることを特徴とする測定試料の断面画像測定方法。

IPC (3)：

G01N 21/17 630 ,  A61B 10/00 ,  G01B 11/24

FI (3)：

G01N 21/17 630 ,  A61B 10/00 E ,  G01B 11/24 K

F-Term (30)：

2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065DD03 ,  2F065FF42 ,  2F065FF51 ,  2F065GG01 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL12 ,  2F065LL46 ,  2F065LL47 ,  2F065MM16 ,  2F065NN08 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ28 ,  2G059AA05 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059FF01 ,  2G059GG09 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM02 ,  2G059MM04 ,  2G059NN01 ,  2G059PP10