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J-GLOBAL ID:200903092098930156
画像処理装置、及びその計測項目検査方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
大菅 義之
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997239886
Publication number (International publication number):1999083435
Application date: Sep. 04, 1997
Publication date: Mar. 26, 1999
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】 検査対象の表面状態が良好でないあるいは検査環境の照明が一様でない場合においても、正しいエッジ位置を検出できる。【解決手段】 予め、手本となる画像に基づいて、仮計測用の閾値、本計測用の閾値が設定されている。検査実行時において、検査対象物を撮像した画像信号を、I/Oインタフェース部14より入力し、メモリ12に格納する。CPU11検査対象物の計測項目を測定する処理を行う。まずメモリ12に格納した画像信号より検査対象の画像の輝度値のプロファイルを作成する。次に、このプロファイル上で仮計測用の閾値と一致する仮のエッジ位置を検出し、これに基づいてプロファイルを複数の計測範囲に分割する。そして各計測範囲毎に上記本計測用の閾値と一致するエッジ位置を検出する。その際1つの計測範囲に複数検出された場合には、仮のエッジ位置に最も近いエッジ位置を選択する。
Claim (excerpt):
入力する検査対象の画像データに基づいて、予め指定された計測ライン上の画像の輝度分布を求める輝度分布作成手段と、該輝度分布作成手段により求められた輝度分布において、予め設定される仮計測用の閾値と輝度値が一致する複数の仮のエッジ位置を検出し、該各仮のエッジ位置より複数の計測範囲を設定する計測範囲設定手段と、該計測範囲設定手段により設定される各計測範囲毎に、計測範囲内において予め設定される本計測用の閾値と輝度値が一致するエッジ位置を検出するエッジ位置検出手段と、該エッジ位置検出手段において、1つの計測範囲内に1つのエッジ位置が検出された場合には該エッジ位置を本来のエッジ位置であるものと決定し、1つの計測範囲内に複数のエッジ位置が検出された場合には該複数のエッジ位置の中で前記仮のエッジ位置に最も近い位置にあるエッジ位置を本来のエッジ位置であるものと決定するエッジ位置決定手段と、を有することを特徴とする画像処理装置。
IPC (4):
G01B 11/00
, G01N 21/88
, G06T 7/00
, G06T 9/20
FI (4):
G01B 11/00 H
, G01N 21/88 F
, G06F 15/62 400
, G06F 15/70 335 Z
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