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J-GLOBAL ID：200903092100832795

微小物体操作装置

Inventor： 内藤 薫 ,  賀嶋 淳子
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991269177
Publication number (International publication number)：1993107498
Application date： Oct. 17, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 光を微小物体に集光してその物体を捕捉、移動させる微小物体操作装置において、効率よく微小物体を捕捉、移動させる。【構成】 入射光1は照射用のレーザー光であり、レンズ3やミラー4を経て対物レンズ6に入射し、試料7に集光される。本発明は、照射光束の集光角度可変手段例えば集光角度調整用リングを設けた。これにより、余分なダメージを与えることなく効率的に微小物体を捕捉、移動できる。

Claim (excerpt)：

光源と、該光源からの照射光束を微小物体近傍に集光させる集光手段と、前記照射光束の集光角度を変える可変手段からなることを特徴とする微小物体操作装置。

IPC (2)：

G02B 27/00 ,  C12M 1/00