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J-GLOBAL ID：200903092128073750

アクティブマトリクス型液晶ディスプレイ装置

Inventor： 鬼沢 賢一 ,  金子 寿輝 ,  橋本 健一 ,  峯村 哲郎
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995173536
Publication number (International publication number)：1997026598
Application date： Jul. 10, 1995
Publication date： Jan. 28, 1997
Summary：

【要約】【目的】 スループット及び歩留まりが高く、且つ高精細化、大画面化を可能にするのに必要な低抵抗配線が容易に得られるようにしたアクティブマトリクス型液晶ディスプレイ装置を提供すること。【構成】 ゲート電極2とゲート絶縁膜3、半導体層4、それにソース・ドレーン電極6からなるアクティブマトリクス型液晶ディスプレイ装置のTFT素子において、ゲート電極2とソース・ドレーン電極6、及びこれらの電極に対する配線部分を、Nbを主体とし、Mo又はVの少なくとも一方を添加した金属材料で構成したもの。【効果】 電極と配線の低抵抗化と膜応力の低減とが得られるので、スループット及び歩留まりが高いTFT-LCDパネルを容易に提供することができ、従って、アクティブマトリクス型液晶ディスプレイ装置の低コスト化を充分に得ることができ、アクティブマトリクス型液晶ディスプレイ装置の高精細化と大型化にも低コストで容易に対応することができる。

Claim (excerpt)：

画素となる液晶素子毎に薄膜トランジスタを備えた、アクティブマトリクス型液晶ディスプレイ装置において、前記薄膜トランジスタの各電極及びそれに対する配線の少なくとも一種が、ニオブを主体とし、これにモリブデン又はバナジウムの少なくとも一方を添加した合金材料で構成されていることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶ディスプレイ装置。

IPC (3)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1345 ,  H01L 29/786

FI (3)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1345 ,  H01L 29/78 612 C