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J-GLOBAL ID:200903092134648934

塗布装置及び塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 長門 侃二
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996001803
Publication number (International publication number):1997187710
Application date: Jan. 09, 1996
Publication date: Jul. 22, 1997
Summary:
【要約】【課題】 塗布器の周囲を塗布液で汚すことなく、塗膜の形成を安定して行える塗布装置および塗布方法、並びに、これら塗布装置および塗布方法を使用したカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 カラーフィルタの製造装置に組み込まれ、その製造に使用される塗布装置は、スリットダイ40の側方の待機位置とスリットダイ40の下方の回収位置との間で移動可能なガター92と、このガター92内に設けられた清掃部材94とを備えており、ガター92は回収位置にあるとき、スリットダイ40の吐出口から吐出される塗布液を受け取ることができ、そして、ガター92が回収位置から待機位置に戻るとき、清掃部材94はスリットダイ40の吐出口周辺部に付着している塗布液を掻き取って除去する。
Claim (excerpt):
塗布液を供給する供給手段と、前記供給手段から供給された塗布液を吐出するために一方向に延びる吐出口を有する塗布器と、前記塗布器の前記吐出口から塗布液を吐出して被塗布部材に塗膜を形成するとき、前記塗布器または前記被塗布部材のいずれか一方を相対的に移動させる移動手段とを備えた塗布装置において、前記被塗布部材に対して塗膜が非形成状態にあるときに、前記塗布器の前記吐出口から吐出された塗布液または前記吐出口の周辺部から垂れ落ちる塗布液を回収する回収手段と、前記吐出口の周辺部に付着している塗布液を除去する清掃手段とを備えていることを特徴とする塗布装置。
IPC (4):
B05C 11/10 ,  B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26 ,  B05D 3/00
FI (4):
B05C 11/10 ,  B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 3/00 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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