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J-GLOBAL ID:200903092159238692

偏光素子及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (8): 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003007569
Publication number (International publication number):2004102217
Application date: Jan. 15, 2003
Publication date: Apr. 02, 2004
Summary:
【課題】一種の光学偏光素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】偏光素子は、透明基板及び該基板に位置する偏光膜を含み、該偏光膜は複数の緊密に配列させるカーボンナノチューブを有している。本発明は以下のとおりの製造方法を提供し、平滑面を有するシリコン基板を用意し、シリコン基板の表面に鉄触媒膜を蒸着させ、該シリコン基板を反応炉内に送り込み、反応炉を650°Cに加熱させ、アセチレンとアルゴンの混合ガスを反応炉内に供給させ、少なくとも触媒と反応炉の温度差が50°C以上のように混合ガスの流量を制御し、アセチレンとアルゴンの体積比を制御することにより全圧に対する炭化水素ガスの分圧の比を0.2より高くなくて0.1より高くなくさせることが好ましく、複数のカーボンナノチューブは基板から成長し出し、その一束を挟んで引き出し、カーボンナノチューブ縄は引き出す方向に形成され、それを透明基板に緊密に配列させる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
偏光膜及び該偏光膜を支持する支持体を有している偏光素子であって、 前記偏光膜は、平行に配列された複数のカーボンナノチューブを有していることを特徴とする偏光素子。
IPC (2):
G02B5/30 ,  C01B31/02
FI (2):
G02B5/30 ,  C01B31/02 101F
F-Term (15):
2H049BA02 ,  2H049BB42 ,  2H049BC01 ,  2H049BC10 ,  2H049BC22 ,  4G146AA11 ,  4G146AC03A ,  4G146AD28 ,  4G146BA12 ,  4G146BB23 ,  4G146BC23 ,  4G146BC26 ,  4G146BC33A ,  4G146BC42 ,  4G146BC44
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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