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J-GLOBAL ID：200903092165107141
欠陥検出方法及び装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
佐藤 正美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991189274
Publication number (International publication number)：1993180809
Application date： Jul. 03, 1991
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：
【要約】【目的】 平均厚さの異なる部分を有する被測定物の、いずれの厚さ部分に欠陥が生じているかを容易に検出する。【構成】 平均厚さが異なる部分を有する被測定物に振動を加える。その振動をピックアップしてスペクトル分析し、平均厚さに応じてそれぞれ異なる周波数位置fA 及びfB に立つスペクトル11及び12を検出する。各平均厚さに対応したスペクトル11及び12が2つに別れることを検出することにより、各平均厚さの部分の欠陥の欠陥の有無を検出する。
Claim (excerpt)：
平均厚さが異なる部分を有する被測定物に振動を加え、その振動をピックアップしてスペクトル分析し、前記平均厚さに応じてそれぞれ異なる周波数位置に立つスペクトルを検出し、前記各平均厚さに対応したスペクトルが2つに別れることを検出することにより、その平均厚さの部分の欠陥を検出するようにした欠陥検出方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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