レジスト飛散検査装置および方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東辰雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996218125
Publication number (International publication number)：1998048837
Application date： Aug. 01, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】付着してはならない部分に飛散して付着したレジストを安定して検出する。レジストが透明の場合でもそのような飛散レジストを確実に検出する。【解決手段】飛散レジストが付着していてはならない非付着部分を含む被検査領域を白色光で照明してカラーで撮像し、レジスト9の色相および彩度と同じ色相および彩度の領域10を検出する。または、非付着部分に対して高反射率でありレジストに対して高吸収率である第1の波長の光と、非付着部分に対して高反射率でありレジストに対して高透過率である第2の波長の光を含む光で被検査領域を照明して得られる画像のうちから第2波長光の色の画像を検出する。または、第1波長光のみにより照明して得られる画像のコントラストに基づいて非付着部分に付着したレジストを検出する。

Claim (excerpt)：

飛散レジストが付着していてはならない非付着部分を含む被検査領域を白色光で照明する照明手段と、前記被検査領域をカラーで撮像し、その撮像データに基づいてレジストの色相および彩度と同じ色相および彩度を有する領域を検出して表示するレジスト検出手段とを具備することを特徴とするレジスト飛散検査装置。

IPC (4)：

G03F 7/26 501 , G01N 21/88 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (4)：

G03F 7/26 501 , G01N 21/88 F , H01L 21/66 J , H01L 21/30 502 V

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開2048-214209
特開平3-189544
特開平3-239954

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