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J-GLOBAL ID：200903092202971315

電極成膜装置用モニター

Inventor： 桜井 秀紀 ,  松井 昌弘
Applicant, Patent owner： ミヨタ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996085685
Publication number (International publication number)：1997250918
Application date： Mar. 13, 1996
Publication date： Sep. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 モニター水晶の振動周波数から膜厚換算の容易な成膜管理を可能とする。【解決手段】 真空槽内で電極を成膜する装置のモニターを水晶片の形状、大きさ及び励振電極の形状、寸法に関係なくモニター水晶として使用できる電極成膜装置用モニターとする。

Claim (excerpt)：

電極成膜装置に使用され、モニター用振動片に成膜された電極によるプレートバック量により電極成膜量を制御するための電極成膜装置用モニターにおいて、両面に励振電極を設けたモニター用振動片の励振電極の夫々に電気的接続をする手段が、振動片の振動に影響を与えない微圧接触可能な接触構造であることを特徴とする電極成膜装置用モニター。