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J-GLOBAL ID：200903092218643245

カーボンナノチューブ製造方法及び製造装置

Inventor： 下山 勲 ,  丸山 茂夫 ,  松本 潔 ,  星野 一憲 ,  村上 陽一
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 東京大学
Agent (1)： 杉村 興作
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004015962
Publication number (International publication number)：2005206432
Application date： Jan. 23, 2004
Publication date： Aug. 04, 2005
Summary：

【課題】 カーボンナノチューブの生成方法には様々な方法が開発されてきたが、いずれも生成したナノチューブの正確な本数を知ることが難しく、所望の位置に所望の本数のチューブを形成する方法や装置は開発されていない。【解決手段】 各々が離間している複数の微細構造体を含む反応領域に反応ガスを流し前記微細構造体間で橋を架けるようにカーボンナノチューブを生成・成長させる成長ステップと、検知手段(例えば、カンチレバーを用いた力センサーなど)を使用して、前記複数の微細構造体のうちの少なくとも1つの物性の変化(橋を架けたときの微小な物性変化、例えば、機械的な物性または光学的な物性など)を計測する計測ステップと、前記計測した物性変化に基づき、カーボンナノチューブの生成・成長を制御する成長制御ステップと、を含むカーボンナノチューブ製造方法を提供する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

カーボンナノチューブ製造方法であって、 各々が離間している複数の微細構造体を含む反応領域に反応ガスを流し前記微細構造体間で橋を架けるようにカーボンナノチューブを生成・成長させる成長ステップと、 検知手段を使用して、前記複数の微細構造体のうちの少なくとも1つの物性の変化を計測する計測ステップと、 前記計測した物性変化に基づき、カーボンナノチューブの生成・成長を制御する成長制御ステップと、 を含むカーボンナノチューブ製造方法。

IPC (1)：

C01B31/02

FI (1)：

C01B31/02 101F

F-Term (13)：

4G146AA11 ,  4G146BA11 ,  4G146BA48 ,  4G146BC23 ,  4G146BC25 ,  4G146BC27 ,  4G146DA03 ,  4G146DA28 ,  4G146DA31 ,  4G146DA36 ,  4G146DA47 ,  4G146DA48 ,  4G146DA50