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J-GLOBAL ID：200903092234247414

ウエーハブレーキング・分離方法及びその実施装置

Inventor： 佐藤 昭彦 ,  小倉 剛
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992179975
Publication number (International publication number)：1994029388
Application date： Jul. 07, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ウェーハブレーキング・分離方法において、ウエーハ1からチップ4に分離する際に生ずるチップ4のワレ、カケ、クラック等の損傷を防止する。【構成】 予めブレーク用溝1Aが設けられたウエーハ1をテープ2に貼り付け、ローラ3でウエーハ1をブレークするウエーハブレーキング・分離方法において、前記ローラ3の回転する進行方向と逆向きに、前記ウエーハ1を貼り付けたテープ2に張力を加えてウエーハ1をブレークしてチップ4に分離する。また、その実施装置において、前記ローラ3の回転する進行方向と逆向きに、前記ウエーハ1を貼り付けたテープ2に張力を加えるテープ引張手段と、このテープ引張手段のテープの引張り方向がウェーハを配置した試料台の平面に対し、上方向に引張る手段と、該上方向に引張る手段の引張り角度を設定する引張り角度設定手段が設けられている。

Claim (excerpt)：

予めブレーク用溝が設けられたウエーハをテープに貼り付け、ブレーク用ローラでウエーハをブレークしてチップに分離するウエーハブレーキング・分離方法において、前記ブレーク用ローラの回転する進行方向と逆向きに、前記ウエーハを貼り付けたテープに張力を加えてウエーハをブレークして分離することを特徴とするウエーハブレーキング・分離方法。

IPC (2)：

H01L 21/78 ,  B28D 5/00