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J-GLOBAL ID：200903092244754594

成形体の製造方法

Inventor： 湯浅 基和
Applicant, Patent owner： 積水化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993138471
Publication number (International publication number)：1994346246
Application date： Jun. 10, 1993
Publication date： Dec. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】金属基材上にダイヤモンド状炭素膜を形成した後、該炭素膜表面をフッ素化処理することにより、切れ味が良好で耐蝕性の優れた成形体を製造する方法。【構成】金属基材7表面に、炭素と水素を含有する原料ガスをプラズマによって励起し接触させることによって、ダイヤモンド状炭素膜を形成し、次いで、ダイヤモンド状炭素膜の表面に、フッ素を含有する原料をプラズマによって励起し接触させることによってフッ素化層を形成する。

Claim (excerpt)：

金属基材表面に、炭素と水素を含有する原料ガスをプラズマによって励起し接触させることによってダイヤモンド状炭素膜を形成し、次いで、ダイヤモンド状炭素膜の表面に、フッ素を含有する原料をプラズマによって励起し接触させることによってフッ素化層を形成することを特徴とする成形体の製造方法。

IPC (3)：

C23C 16/54 ,  C23C 16/26 ,  C23C 28/04