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J-GLOBAL ID:200903092270612676

原料供給装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 光石 俊郎 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991340955
Publication number (International publication number):1993171420
Application date: Dec. 24, 1991
Publication date: Jul. 09, 1993
Summary:
【要約】【目的】 チャンバ6内の原料金属ペレット7をフィードパイプ5、水平移送管14を通して蒸気室20下方のるつぼ3内へ供給する装置において、チャンバ6内に原料金属ペレット7を補充する際、蒸気室20の真空度を落とさないようにする。【構成】 フィードパイプ5に仕切弁23を設けると共に、チャンバ6に仕切弁25を介して真空パイプ31を接続し、仕切弁23,25を閉じ、チャンバ6のみを区画して、大気圧化,原料金属ペレット7の補充,真空圧化を行う。
Claim (excerpt):
るつぼが設置される蒸発室を囲むケーシングを貫通してフィードパイプを設け、このフィードパイプのケーシング外の端部に、原料を格納するチャンバを接続し、フィードパイプのケーシング内の端部側を前記るつぼの上方に開口する移送管につなげ、さらに前記ケーシングに真空ポンプを接続してなる原料供給装置において、前記フィードパイプに当該フィードパイプ内を開閉する仕切弁を設ける一方、前記チャンバに真空ポンプを接続すると共に、間に弁を設けたことを特徴とする原料供給装置。
IPC (3):
C23C 14/24 ,  F27B 14/04 ,  F27B 14/16

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